製品紹介PRODUCT
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グラッシーカーボン
Glassy carbon
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耐薬品性に優れたカーボン製品
樹脂を焼成して熱処理したカーボン製品。高純度で耐薬品性に優れ、気体不透過などの特徴を持ち、半導体製造分野で使われています。
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特徴
- 軽い
- 耐薬品性に優れる
- 気体不透過である
- 高純度
- 発塵性がない
- 脱ガスフリーである
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用途
- 基板ホルダー
- 遮熱板
- サセプター
- ガイドリング
- エッチャー用電極
- 洗浄用部材
- ダミーウェハー（〜400mm）
- ガラス熱処理用部材
- ガラス成形部材
- ルツボ
- 保護管他