クリーン性能のファインカーボン

ファインカーボンの表面に、シリコンｘカーボンをコーティングしたファインカーボンです。コーティングと超高純度素材により、不純物が問題となる半導体製造工程などで、黒鉛粉などの粉塵を出さないクリーンな性能で注目されています。