製品紹介PRODUCT
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ソリッドSiC
Solid SiC
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独自製法による超高純度CVD-SiC材料
Solid SiC とは、当社が独自の製法で工業化に成功した、超高純度CVD-SiC材料です。半導体製造部材を始めとして不純物汚染を嫌う用途に最も適した材料として期待されています。
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特徴
- 超高純度
- 耐薬品性に優れる
- 金属の拡散が圧倒的に少ない
- 脱ガスフリーである
- 理論密度である(β-SiC)
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用途
- ウェハーキャリア
- サセプター
- ダミーウェハー
- エッチャー部材他